Strukturasi bo‘yicha to‘shama bilan bir xil bo‘lgan, undan faqat legirlovchi aralashmalaning tarkibi bilan farq qiladigan modda monokristall qatlamini o‘stirish jarayoni.

Структураси бўйича тўшама билан бир хил бўлган, ундан фақат легирловчи аралашмаларнинг таркиби билан фарқ қиладиган модда монокристалл қатламини ўстириш жараёни.

Процесс выращивания монокристаллическо-го слоя вещества, однотипного по структуре с подложкой и отличающегося от нее только содержанием легирующих примесей.

homoepitaxy