Nanoplyonkalar va sirt qatlamlar strukturasini tadqiq qilishning elektronlarning kichik burchak-lar ostida tushishi va tarqalishi geometriyasida tez (1 keV dan 100 keV gacha) elektronlarning difraksiyasiga asoslangan metodi.

Наноплёнкалар ва сирт қатламлар структурасини тадқиқ қилишнинг, электронларнинг кичик бурчаклар остида тушиши ва тарқалиши геометриясида тез (1 keV дан 100 keV гача) электронларнинг дифракциясига асосланган методи.

Метод исследования структуры поверхностных слоев и нанопленок, основанный на дифракции быстрых (от 1 до 100 keV) электронов в геометрии падения и рассеяния электронов под малыми углами.

reflection high-energy diffraction