ion beam etching

Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов

Qattiq jism sirtidan moddani olib tashlash jara-yoni, inert gazlar ion dastalari bilan qattiq jismni bombardimon qilish orqali amalga oshiriladi.

Қаттиқ жисм сиртидан моддани олиб ташлаш жараёни, инерт газлар ион дасталари билан қаттиқ жисмни бомбардимон қилиш орқали амалга оширилади.