| Словарь по нанотехнологии | |
ariqcha ариқча |
Yon qurilmalar o‘rtasida izolyatsion to‘siq vazifasini bajaradigan, legirlangan kremniy yoki oksid bilan to‘ldirilgan, dorivor bilan ishlov berilgan soha.
Ён қурилмалар ўртасида изоляцион тўсиқ вазифасини бажарадиган, легирланган крем-ний ёки оксид билан тўлдирилган, доривор билан ишлов берилган соҳа. |
Канавка |
Протравленная область, заполненная оксидом или легированным кремнием, которая выполняет функцию изоляционного барьера между соседними устройствами. |
trench |
trench |