micromachines

Механические объекты, которые изготовливаются тем же способом, что и интегральные схемы. Принято считать, что их размер составляет от 100 nm до 100 µm. Уже сейчас микромашины применяются в акселерометрах, которые детектируют удар автомобиля о посторонний объект и активируют раскрытие подушки безопасности. Другая сфера их применения сложные системы приводов и рычагов.

Integral sxemalar tayyorlanadigan usul bilan tayyorlanadigan mexanik obyektlar. Ularning  o‘lchami 100 nm 100  µm tashkil etadi deb qabul qilingan. Hozirgi mikromashinalar avtomobilning chet obyektga urilishini detektirlaydigan va xavfsizlik yostiqchasi ochilishini tezlashtiradigan akselerometrlarda qo‘llanilmoqda. Mikromashinalarni qo‘llanishning boshqa bir sohasi, uzatmalar va richaglarning murakkab tizimlaridir.

Интеграл схемалар тайёрланадиган усул билан тайёрланадиган механик объектлар. Уларнинг  ўлчами 100 nm 100 µm ташкил этади деб қабул қилинган. Ҳозирги микромашиналар автомобилнинг чет объектга урилишини детектирлайдиган ва хавфсизлик ёстиқчаси очилишини тезлаштирадиган акселерометрларда қўлланилмоқда. Микромашиналарни қўлланишнинг бошқа бир соҳаси, узатмалар ва ричагларнинг мураккаб тизимларидир.