Словарь по нанотехнологии
micromachining	micromachining
Микрообработка	Технология для изготовления микроэлектро-механических систем.
mikroishlov микроишлов	Mikroelektromexanik tizimlarni tayyorlash uchun belgilangan texnologiya. Микроэлектромеханик тизимларни тайёрлаш учун белгиланган технология.