Микросхемы, в тело которых интегрированы волноводы или другие оптические элементы. Возможность осуществления сложных опера-ций со световым лучом (полное отражение, дифракция, модуляция, пространственная ориентация) благодаря использованию мини-атюрных оптических элементов является од-ним из основных достоинств микроптоэлек-тромеханических систем. Области их приме-нения − модуляция света, фильтры ввода/вы-вода, дисплеи и др.

micro optical electromechanical systems

To‘lqin o‘tkazgichlar yoki boshqa optik elementlar bir butun qilib birlashtirilgan mikrosxemalar. Ixcham optik elementlardan foydalanishi tufayli yorug‘lik nuri bilan (to‘la qaytish, difrak-siya, modulyatsiya, fazoviy oriyentatsiya) murakkab operatsiyalarni amalga oshirishning mumkinligi mikrooptoelektromexanik tizimlarning afzalliklaridan biri hisoblanadi. Ularning qo‘llanish sohalari – yorug‘lik modulyatsiyasi, kiritish/chiqarish filtrlari, displeylar va b.lar.

Тўлқин ўтказгичлар ёки бошқа оптик эле-ментлар бир бутун қилиб бирлаштирилган микросхемалар. Ихчам оптик элементлардан фойдаланиши туфайли ёруғлик нури билан (тўла қайтиш, дифракция, модуляция, фазо-вий ориентация) мураккаб операцияларни амалга оширишнинг мумкинлиги микроопто-электромеханик тизимларнинг афзалликлари-дан бири ҳисобланади. Уларнинг қўлланиш соҳалари – ёруғлик модуляцияси, киритиш/ чиқариш фильтрлари, дисплейлар ва б.лар.