micros tructure

В технологии материалов − структурная особенность материала, такая как границы, размер и структура зерен, выявляемые при наблюдении под микроскопом, избирательном травлении и т.д. В области микроэлектро-механических систем данный термин также используется для обозначения свойства, полученного с использованием микромашин. За последние десять лет стремительное развитие получило изготовление и исследование синтетических микроструктур для различных материалов, в том числе для кремния, полу-проводников, металлов, керамики и органических веществ.

Materiallar texnologiyasida – materialning, donalarning strukturasi, o‘lchami, chegarasi kabi, mikroskop ostida kuzatishda, tanlab tozalashda aniqlanadigan strukturaviy o‘ziga xos xususiyati. Mikroelektromexanik tizimlar sohasida ushbu atamadan, mikromashinalardan foydalanib olingan xossalarni belgilash uchun ham foydalaniladi. Keyingi o‘n yil ichida turli materiallar, shu jumladan, kremniy, yarimo‘tkazgichlar, metallar, keramika va organik moddalar uchun sintetik mikrostrukturalar tayyorlash, ularni o‘rganish jadal rivojlandi.

Материаллар технологиясида – материалнинг, доналарнинг структураси, ўлчами, чегараси каби, микроскоп остида кузатишда, танлаб тозалашда аниқланадиган структуравий ўзига хос хусусияти. Микроэлектромеханик тизимлар соҳасида ушбу атамадан, микромашиналардан фойдаланиб олинган хоссаларни белгилаш учун ҳам фойдалани-лади. Кейинги ўн йил ичида турли материаллар, шу жумладан, кремний, яримўтказгичлар, металлар, керамика ва органик моддалар учун синтетик микроструктуралар тайёрлаш, уларни ўрганиш жадал ривожланди.