Birmuncha tor atamalar: integallangan mikroqurilmalar, nanoqurilmalar, bir elektronli qurilmalarni ichiga oladigan tushuncha.

Бирмунча тор атамалар: интегралланган микроқурилмалар, наноқурилмалар, бир электронли қурилмаларни ичига оладиган тушунча.

Понятие, включающее более узкие термины: интегрированные микроустройства, наноустройства, одноэлектронные устройства

 microdevices