micro electro mechanical systems

Интегрированные микроустройства или сис-темы, комбинирующие электрические и ме-ханические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией интегральных схем и имеющие размеры от микрометров до миллиметров. Имеются три функции таких систем:

1) чувствительная (сенсорная) функция зак-лючается в способности определять наличие и концентрацию химических и биологичес-ких компонентов в окружающей среде;

2) вычислительная функция означает, что микросистема обладает процессором (вычис-лителем), который проводит необходимые вычисления и подготавливает информацию для передачи и отображения другими устройствами;

3) производительная функция означает, что микросистема наделяется микроскопически-ми исполнительными механизмами, работой которых она управляет. Благодаря малым размерам, микроэлектромеханические систе-мы демонстрируют уникальные свойства, не выраженные для макроско-пических тел в силу более высокого отношения площади поверхности к объему: повышенную чувстви-тельность к статическому электричеству и смачиваемость.

Integral sxemalar texnologiyasi bilan mos kela-digan texnologiyalar bo‘yicha tayyorlangan
elektr, mexanik komponentlarni birlashtiradigan va o‘lchamlari mikrometrdan millimetrlargacha bo‘lgan integrallangan mikroqurilmalar yoki tizimlar:

Bunday tizimlarning uchta funksiyasi bor:

1) sezgir (sensor) funksiyasi, atrof muhitda kim-yoviy va biologik komponentlar mavjudligini va konsentratsiyasini aniqlashdan iborat;

2) hisoblash funksiyasi mikrotizim zarur hisob-lashlarni olib boradigan, boshqa qurilmalarga uzatish va aks ettirish uchun axborot tayyorlay-digan protsessorga (hisoblagichga) ega ekanli-gini bildiradi;

3) ishlab chiqarish funksiyasi, mikrotizim ishi boshqariladigan mikroskopik bajaruvchi mexanizmlarga ega ekanligini bildiradi. O‘lcham-larning kichikligi tufayli, mikroelektromexanik tizimlar sirt maydonining hajmga nisbatan birmuncha yuqori bo‘lishligi sababli, makroskopik jismlar uchun ifodalanmagan noyob xossalarni: statik elektrga nisbatan yuqori sezgirlikni va ho‘llanuvchanlikni namoyon qiladi.

Интеграл схемалар технологияси билан мос келадиган технологиялар бўйича тайёрланган электр, механик компонентларни бирлаш-ти-радиган ва ўлчамлари микрометрдан милли-метрларгача бўлган интегралланган микроқу-рилмалар ёки тизимлар:

Бундай тизимларнинг учта функцияси бор:

1) сезгир (сенсор) функцияси, атроф муҳитда кимёвий ва биологик компонентлар мавжуд-лигини ва концентрациясини аниқлашдан иборат;

2) ҳисоблаш функцияси микротизим зарур ҳисоблашларни олиб борадиган, бошқа қурилмаларга узатиш ва акс эттириш учун ахборот тайёрлайдиган процессорга (ҳисоб-лагичга) эга эканлигини билдиради;

3) ишлаб чиқариш функцияси, микротизим иши бошқариладиган микроскопик бажарув-чи механизмларга эга эканлигини билдиради. Ўлчамларнинг кичиклиги туфайли, микроэлектромеханик тизимлар сирт майдонининг ҳажмга нисбатан бирмунча юқори бўлишлиги сабабли, макроскопик жисмлар учун ифодаланмаган ноёб хоссаларни: статик электрга нисбатан юқори сезгирликни ва ҳўлланувчанлик намоён қилади.