optical lithography

Технология, использующая линзы и свет для точного проецирования и экспонирования изображения маски на покрытую фоторезистом полупроводниковую пластину.

Linzalar va yorug‘likdan niqob tasvirini fotorezist bilan qoplangan yarimo‘tkazgichli plastina-ga aniq proyeksiyalash va eksponirlash uchun foydalaniladigan texnologiya.

Линзалар ва ёруғликдан ниқоб тасвирини фо-торезист билан қопланган яримўтказгичли пластинага аниқ проекциялаш ва экспонирлаш учун фойдаланиладиган технология.