scanning electron microscope

Прибор, позволяющий получать изображения поверхности образца с большим разрешением (менее микрометра). Исследуемый образец в условиях вакуума сканируется сфокусированным электронным пучком средних энергий. В зависимости от механизма регистрации сигнала различают несколько режимов работы сканирующего электронного микроскопа: режим отражённых электронов, режим вторичных электронов, режим катодолюминесценции. Разработанные методики позволяют исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать и получать информацию о свойствах подповерхностных структур.

Yuqori darajada (mikrometrdan kam)ajrata olish  bilan namuna sirtining tasvirini olish imkonini beradigan asbob. O‘rganiladigan namuna vakuum sharoitida o‘rtacha energiyali fokuslangan elektron dasta bilan skanerlanadi. Signalni qayd qilish mexanizmiga bog‘liq ravishda, skanerlaydigan elektron mikroskopning bir nechta ish rejimi ajratiladi: qaytgan elektronlar rejimi, ikkilamchi elektronlar rejimi, katodolyuminessensiya rejimi. Ishlab chiqilgan  metodikalar nafaqat namuna sirti xossalarini o‘rganish, balki sirt osti strukturalarning xossalari to‘g‘risida ma’lumot olish, vizuallashtirish imkonini beradi.

Юқори даражада (микрометрдан кам) ажрата олиш билан намуна сиртининг тасвирини олиш имконини берадиган асбоб. Ўрганиладиган намуна вакуум шароитида ўртача энергияли фокусланган электрон даста билан ска-нерланади. Сигнални қайд қилиш механизмига боғлиқ равишда, сканерлайдиган электрон микроскопнинг бир нечта иш режими ажратилади: қайтган электронлар режими, иккиламчи электронлар режими, катодолю-минесценция режими. Ишлаб чиқилган методикалар нафақат намуна сирти хоссаларини ўрганиш, балки сирт ости структураларнинг хоссалари тўғрисида маълумот олиш, визуаллаштириш имконини беради.