chemical beam epitaxy

Процесс выращивания монокристаллического слоя вещества, в результате которого образование новой фазы происходит при химическом взаимодействии вещества подложки с веществом, поступающим из внешней среды. Полученный хемоэпитаксиальный слой отличается по составу как от вещества подложки, так и от вещества, поступающего на ее поверхность извне.

Moddaning monokristall qatlamini o‘stirish jarayoni. Uning natijasida yangi fazaning yuzaga kelishi to‘shama moddasining tashqi muhitdan keladigan modda bilan kimyoviy o‘zaro ta’sirida ro‘y beradi. Olingan xemoepitaksial qatlam tarkibi bo‘yicha ham to‘shama moddasidan, ham uning sirtiga tashqaridan keladigan moddadan farq qiladi.

Модданинг монокристалл қатламини ўстириш жараёни. Унинг натижасида янги фазанинг юзага келиши тўшама моддасининг ташқи муҳитдан келадиган модда билан кимёвий ўзаро таъсирида рўй беради. Олинган хемоэпитаксиал қатлам таркиби бўйича ҳам тўшама моддасидан, ҳам унинг сиртига ташқаридан келадиган моддадан фарқ қилади.