electron probe microanalysis

Физические методы исследования и локального анализа поверхности твердых тел с помощью пучка сфокусированных электронов (зонда). Пучки электронов получают с помощью электронной пушки вакуумного устройства, обычно диода, в котором электроны вы-летают из катода благодаря термоэлектронной эмиссии и ускоряются электрическим полем. Фокусировку пучков осуществляют электронными линзами, создающими необходимые электрические и магнитные поля. В методе используют первичные медленные и быстрые электроны. После взаимодействия пучка первичных электронов с поверхностью исследуемого образца можно регистрировать упруго или неупруго рассеянные электроны, вторичную электронную эмиссию, эмиссию десорбированных атомов или ионов, электро-магнитное излучение в рентгеновской или оптической области, наведенный в образце электрический ток или ЭДС (электродвижущая сила).

Fokuslangan elektronlar dastasi (zond) yordamida qattiq jismlar sirtini o‘rganish va lokal analiz qilishning fizik metodlari. Elektronlar dastalari vakuum qurilmaning elektron to‘pi, odatda diod yordamida olinadi. Diodda elektronlar termo-elektron emissiya tufayli katoddan uchib chiqadi, elektr maydon uni tezlashtiradi. Dastalar zarur
elektr va magnit maydonlar yuzaga keltiradigan elektron linzalar bilan fokuslanadi. Metodda bir-lamchi sekin elektronlardan va tez elektronlardan foydalaniladi. Birlamchi elektronlar dastasi o‘rga-niladigan namunaning sirti bilan o‘zaro ta’sirlash-gandan so‘ng, elastik yoki noelastik sochilgan
elektronlarni, ikkilamchi elektron emissiyani, desorblangan atomlar yoki ionlar emissiyasini, rent-gen yoki optik sohalarda elektromagnit nurlanishni, namuna to‘g‘rilangan elektr toki yoki elektr yurituvchi kuchni qayd qilish mumkin.

Фокусланган электронлар дастаси (зонд) ёр-дамида қаттиқ жисмлар сиртини ўрганиш ва локал анализ қилишнинг физик методлари. Электронлар дасталари вакуум қурилманинг электрон тўпи, одатда диод ёрдамида олинади. Диодда электронлар термоэлектрон эмиссия туфайли катоддан учиб чиқади, электр майдон уни тезлаштиради. Дасталар зарур электр ва магнит майдонлар юзага келтирадиган элек-трон линзалар билан фокусланади. Методда бирламчи секин электронлардан ва тез элек-тронлардан фойдаланилади. Бирламчи элек-тронлар дастаси ўрганиладиган намунанинг сирти билан ўзаро таъсирлашгандан сўнг, элас-тик ёки ноэластик сочилган электронларни, иккиламчи электрон эмиссияни, десорбланган атомлар ёки ионлар эмиссиясини, рентген ёки оптик соҳаларда электромагнит нурланишни, намуна тўғриланган электр токи ёки электр юритувчи кучни қайд қилиш мумкин.