electron beam lithography

Метод изготовления субмикронных и нано-размерных деталей путем облучения электро-чувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для об-лучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование (проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем ин-формации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.

Elektrosezgir sirtlarni elektron nur bilan nurlatish orqali, submikron va nanoo‘lchamli detallarni tay-yorlash metodi. Rasm tushirish maqsadida plastina sirtini nurlatish uchun elektron dastalardan foyda-lanishning ikkita asosiy imkoniyati mavjud. Bu yaxlit butun tasvirni bir vaqtda eksponirlash (pro-yeksion usul) va rasmning alohida qismlarini
ketma-ket eksponirlash (skanerlash). Proyeksion tizimlar, odatda, yuqori unumdorlikka ega bo‘lib, skanerlaydigan tizimlarga qaraganda birmuncha sodda. Tasvir to‘g‘risida axborot tashuvchi maska (shablon) hisoblanadi. Shablondan olingan tasvir elektronlar nuri bilan plastinaga uzatiladi. Skanerlaydigan tizimlar hisoblash mashinasi bilan bosh-qariladi. Hisoblash mashinasi rasmni tushirish uchun fokuslangan elektronlar dastasini siljitish dasturini beradi, dastaning kengayish va chetga chiqish (qiyshayish) effektlarini to‘g‘rilaydi, plastina holatini belgilaydi. Tasvir to‘g‘risidagi axborot elektron hisoblash mashinasining xotirasida saqlanadi.

Электросезгир сиртларни электрон нур билан нурлатиш орқали, субмикрон ва наноўлчамли деталларни тайёрлаш методи. Расм тушириш мақсадида пластина сиртини нурлатиш учун электрон дасталардан фойдаланишнинг иккита асосий имконияти мавжуд. Бу яхлит бутун тасвирни бир вақтда экспонирлаш (проекци-он усул) ва расмнинг алоҳида қисмларини кетма-кет экспонирлаш (сканерлаш). Проекцион тизимлар, одатда, юқори унумдорликка эга бўлиб, сканерлайдиган тизимларга қараганда бирмунча содда. Тасвир тўғрисида ахборот ташувчи маска (шаблон) ҳисобланади. Шаблондан олинган тасвир электронлар нури билан пластинага узатилади. Сканерлайдиган тизимлар ҳисоблаш машинаси билан бошқа-рилади. Ҳисоблаш машинаси расмни тушириш учун фокусланган электронлар дастасини силжитиш дастурини беради, дастанинг кенгайиш ва четга чиқиш (қийшайиш) эффектларини тўғрилайди, пластина ҳолатини белгилайди. Тасвир тўғрисидаги ахборот электрон ҳисоблаш машинасининг хотирасида сақланади.