ellipsometry

Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Термин был предложен Ротеном в 1944 году и отражает тот факт, что, как правило, после взаимодействия с системой, содержащей границы раздела, электромагнитная волна оказывается эллиптически поляризованной. Особая ценность эллипсометрии связана с двумя обстоятельствами. Во-первых, она не влияет на исследуемую систему при правильном выборе интенсивности и длины волны используемого света. Кроме того, метод весьма чувствителен к слабым изменениям на границах раздела сред, таким, как зародышеобразование и образование островкового субмонослоя, изменение химического состава и топографии поверхности, адсорбция, рост смачивающих пленок и оксидных слоев и т.д.

Fazalararo chegаralar parametrlarini aniqlash va tuzilishini tadqiq qilishning optik metodi, sirt (fazalararo chegara) bilan o‘zaro ta’sirda bo‘lganda, yorug‘lik qutblanish holati o‘zgarishini analiz qilishga asoslangan. Atama 1944-yilda Roten tomonidan taklif qilingan bo‘lib, elektromagnit to‘lqin ajratish chegarasini ichiga oladigan tizim bilan o‘zaro ta’sirdan so‘ng, elliptik qutblangan holatga kelishini aks ettiradi. Ellipsometriyaning alohida ahamiyati ikki holat bilan bog‘liq. Birinchidan, foydalaniladigan yorug‘lik to‘lqin uzunligi va intensivlik to‘g‘ri tanlanganda, o‘rganiladigan tizimga ta’sir qilmaydi. Bundan tashqari, muhitning bo‘linish chegarasida, murtak hosil bo‘lish, orol submonoqatlam hosil bo‘lishi, sirt topografiyasi va kimyoviy tarkibining o‘zgarishi, adsorbsiya, oksid qatlamlar va ho‘llovchi plyonkalar kabi kuchsiz o‘zgarishlarga juda sezgir.

Фазалараро чегaралар параметрларини аниқлаш ва тузилишини тадқиқ қилишнинг оптик методи, сирт (фазалараро чегара) билан ўзаро таъсирда бўлганда, ёруғлик қутбланиш ҳола-ти ўзгаришини анализ қилишга асосланган. Атама 1944 йилда Ротен томонидан таклиф қилинган бўлиб, электромагнит тўлқин ажратиш чегарасини ичига оладиган тизим билан ўзаро таъсирдан сўнг, эллиптик қутбланган ҳолатга келишини акс эттиради. Эллипсомет-риянинг алоҳида аҳамияти икки ҳолат билан боғлиқ. Биринчидан, фойдаланиладиган ёруғлик тўлқин узунлиги ва интенсивлик тўғри танланганда, ўрганиладиган системага таъсир қилмайди. Бундан ташқари, муҳитнинг бўлиниш чегарасида, муртак ҳосил бўлиш, орол субмоноқатлам ҳосил бўлиши, сирт топографияси ва кимёвий таркибининг ўзгариши, адсорбция, оксид қатламлар ва ҳўлловчи плён-калар каби кучсиз ўзгаришларга жуда сезгир.