| Электрон техника ва радиоэлектроника | |
| ion-plazma etching | ion-plazma etching |
| Ионно-плазменное травление | Способ удаления вещества с поверхности под-ложки с использованием компонентов низко-температурной газоразрядной плазмы ионов, электронов, возбужденных атомов и свобод-ных радикалов. |
| ion-plazma bilan tozalash | Past temperaturali gaz-razryad plazmasi kompo-nentlaridan ionlar, elektronlar, qo‘zg‘algan atomlar va erkin radikallardan foydalangan hol-da, to‘shama yuzasidan moddalarni yo‘qotish usuli. |