| Электрон техника ва радиоэлектроника | |
| fotolitografiya | Integral sxemalar, yarimo‘tkazgichli asboblar, yupqa plyonkali elementlar va bosma platalar ishlab chiqarishda qo‘llaniladigan texnologiya. |
| Фотолитография | Технология, использующаяся при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, тонкопленочных элементов и печатных плат. |
| photolitography | photolitography |