Электрон техника ва радиоэлектроника
Электронорезист Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV.
еlectron-beam resist еlectron-beam resist
elektron rezist Energiyasi 5 keV dan 50 keV gacha bo‘lgan elektronlar dastasining ta’siriga sezgir rezist.