
Электрон техника ва радиоэлектроника | |
Электронорезист | Резист, чувствительный к воздействию пучка электронов с энергиями от 5 до 50 keV. |
еlectron-beam resist | еlectron-beam resist |
elektron rezist | Energiyasi 5 keV dan 50 keV gacha bo‘lgan elektronlar dastasining ta’siriga sezgir rezist. |