| Электрон техника ва радиоэлектроника | |
| Элионная технология | Совокупность приемов и способов изготовления изделий электронной техники с субмикронными размерами (менее 1 µm) элементов посредством облучения (бомбардировки) материала изделий направленными потоками электронов или ионов. |
| еlectroionization technology | еlectroionization technology |
| elion texnologiya | Elektronlar yoki ionlarning yo‘naltirilgan oqimi bilan nurlantirish (bombardimon qilish) vosita-sida, elementlarining o‘lchamlari submikron (1 µm dan kam) bo‘lgan elektron texnika mahsulot-larini tayyorlash usullari va yo‘llarining yig‘in-disi. |