Разновидность оптической бесконтактной печати, в которой длина волны экспонирующего облучения лежит в диапазоне от 0,4 до 5 nm. Несмотря на то, что при рентгеновской литографии используется бесконтактная экспонирующая система, проявление дифракционных эффектов уменьшено за счет малой длины волны рентгеновского излучения. Основная причина разработки метода рентгеновской литографии заключалась в возможности получения высокого разрешения и, в то же время, высокой производительности оборудования. Кроме того, за счет малой вели-чины энергии мягкого рентгеновского излучения уменьшается проявление эффектов рассеяния в резистах и подложке.

Ekspozitsiyalaydigan nurlanish to‘lqin uzunligi 0,4 nm dan 5 nm gacha diapazonda yotadigan optik kontaktsiz bosmaning bir turi. Rentgen litografiyasida kontaktsiz ekspozitsiyalaydigan tizimdan foydalanilishiga qaramay, difraksion effektlarning namoyon bo‘lishi rentgen nurlanish to‘lqin uzunligi kichikligi hisobiga kamaytirilgan. Rentgen litografiyasi metodini ishlab chiqishning asosiy sababi, yuqori ajrata olishga, shu vaqtning o‘zida uskunaning yuqori unumdorligiga erishishdan iborat edi. Bundan tashqari, yumshoq rentgen nurlanish energiyasi kattaligi kichik bo‘lishi hisobiga, rezistlarda va to‘shamalarda sochilish effektlarining namoyon bo‘lishi kamayadi.

Экспозициялайдиган нурланиш тўлқин узун-лиги 0,4 nm дан 5 nm гача диапазонда ётадиган оптик контактсиз босманинг бир тури. Рентген литографиясида контактсиз экспози-циялайдиган тизимдан фойдаланилишига қа-рамай, дифракцион эффектларнинг намоён бўлиши рентген нурланиш тўлқин узунлиги кичиклиги ҳисобига камайтирилган. Рентген литографияси методини ишлаб чиқишнинг асосий сабаби, юқори ажрата олишга, шу вақтнинг ўзида ускунанинг юқори унумдорлигига эришишдан иборат эди. Бундан таш-қари, юмшоқ рентген нурланиш энергияси катталиги кичик бўлиши ҳисобига, резистларда ва тўшамаларда сочилиш эффектларининг намоён бўлиши камаяди.

X-ray lithography

Метод анализа поверхности, основанный на регистрации энергетических спектров электронов, возникающих вследствие внешнего фотоэффекта при облучении исследуемого объекта электромагнитным излучением рентгеновского диапазона спектра.

x-ray photoelectronic spectroscopy

Метод анализа поверхности, основанный на регистрации энергетических спектров электронов, возникающих вследствие внешнего фотоэффекта при облучении исследуемого объекта электромагнитным излучением рентгеновского диапазона спектра.

Tadqiq qilinadigan obyektni rentgen spektr diapazonidagi elektromagnit nurlanish bilan nurlantirish paytida tashqi fotoeffekt oqibatida paydo bo‘ladigan elektronlar energetik spektrlarini qayd etishga asoslangan, sirtni tahlil qilish metodi.

Тадқиқ қилинадиган объектни рентген спектр диапазонидаги электромагнит нурланиш билан нурлантириш пайтида ташқи фотоэффект оқибатида пайдо бўладиган электронлар энергетик спектрларини қайд этишга асосланган, сиртни таҳлил қилиш методи.

x-ray photoelectronic spectroscopy

Метод анализа поверхности, основанный на регистрации энергетических спектров электронов, возникающих вследствие внешнего фотоэффекта при облучении исследуемого объекта электромагнитным излучением рентгеновского диапазона спектра.

Tadqiq qilinadigan obyektni rentgen spektr diapazonidagi elektromagnit nurlanish bilan nurlantirish paytida tashqi fotoeffekt oqibatida paydo bo‘ladigan elektronlar energetik spektrlarini qayd etishga asoslangan, sirtni tahlil qilish metodi.

Тадқиқ қилинадиган объектни рентген спектр диапазонидаги электромагнит нурланиш билан нурлантириш пайтида ташқи фотоэффект оқибатида пайдо бўладиган электронлар энергетик спектрларини қайд этишга асосланган, сиртни таҳлил қилиш методи.

x-ray photoelectronic spectroscopy

Возрастание прочности структуры со временем при действии напряжения сдвига. Обусловлена структурированием дисперсной системы в процессе сдвигового деформирования с малой скоростью.

rheopexy

Возрастание прочности структуры со временем при действии напряжения сдвига. Обусловлена структурированием дисперсной системы в процессе сдвигового деформирования с малой скоростью.

Struktura mustahkamligining vaqt o‘tishi bilan siljish kuchlanishi ta’sirida oshib borishi. Kichik tezlik bilan siljish deformatsiyasi jarayonida dispers tizim strukturalanishi bilan bog‘liq.

Структура мустаҳкамлигининг вақт ўтиши билан силжиш кучланиши таъсирида ошиб бориши. Кичик тезлик билан силжиш деформацияси жараёнида дисперс тизим структураланиши билан боғлиқ.

rheopexy

Возрастание прочности структуры со временем при действии напряжения сдвига. Обусловлена структурированием дисперсной системы в процессе сдвигового деформирования с малой скоростью.

Struktura mustahkamligining vaqt o‘tishi bilan siljish kuchlanishi ta’sirida oshib borishi. Kichik tezlik bilan siljish deformatsiyasi jarayonida dispers tizim strukturalanishi bilan bog‘liq.

Структура мустаҳкамлигининг вақт ўтиши билан силжиш кучланиши таъсирида ошиб бориши. Кичик тезлик билан силжиш деформацияси жараёнида дисперс тизим структураланиши билан боғлиқ.

rheopexy

Способ получения отпечатка поверхности твердого тела для ее изображения методом просвечивающей электронной микроскопии. С поверхности такого тела снимается отпечаток в виде тонкой плёнки углерода, коллодия, формвара и др., повторяющий рельеф поверхности и рассматриваемый в просвечивающий электронный микроскоп. Обычно предварительно на реплику в вакууме напыляется под малым к поверхности углом слой сильно рассеивающего электроны тяжёлого металла, оттеняющего выступы и впадины геометрического рельефа.

replica

Способ получения отпечатка поверхности твердого тела для ее изображения методом просвечивающей электронной микроскопии. С поверхности такого тела снимается отпечаток в виде тонкой плёнки углерода, коллодия, формвара и др., повторяющий рельеф поверхности и рассматриваемый в просвечивающий электронный микроскоп. Обычно предварительно на реплику в вакууме напыляется под малым к поверхности углом слой сильно рассеивающего электроны тяжёлого металла, оттеняющего выступы и впадины геометрического рельефа.

Yorituvchi elektron mikroskopiya metodi bilan tasvirlash uchun qattiq jism sirti izini olish usuli. Bunday jismning sirtidan uglerod, kolloddiy, formvarning yupqa plyonkasi ko‘rinishida, yorituvchi elektron mikroskopiyada ko‘riladigan va sirt relуefini takrorlaydigan iz olinadi. Odatda, oldin replikaga vakuumda sirtga nisbatan kichik burchak ostida geometrik relуefning chiqiqlari va botiqlarini aniq ko‘rsatib turadigan og‘ir metallning kuchli tarqatadigan elektronlar qatlami purkaladi.

Ёритувчи электрон микроскопия методи билан тасвирлаш учун қаттиқ жисм сирти изини олиш усули. Бундай жисмнинг сиртидан углерод, коллодий, формварнинг юпқа плёнкаси кўринишида, ёритувчи электрон микроскопияда кўриладиган ва сирт рельефини такрорлайдиган из олинади. Одатда, олдин репликага вакуумда сиртга нисбатан кичик бурчак остида геометрик рельефнинг чиқиқлари ва ботиқларини аниқ кўрсатиб турадиган оғир металлнинг кучли тарқатадиган электронлар қатлами пуркалади.

replica

Способ получения отпечатка поверхности твердого тела для ее изображения методом просвечивающей электронной микроскопии. С поверхности такого тела снимается отпечаток в виде тонкой плёнки углерода, коллодия, формвара и др., повторяющий рельеф поверхности и рассматриваемый в просвечивающий электронный микроскоп. Обычно предварительно на реплику в вакууме напыляется под малым к поверхности углом слой сильно рассеивающего электроны тяжёлого металла, оттеняющего выступы и впадины геометрического рельефа.

Yorituvchi elektron mikroskopiya metodi bilan tasvirlash uchun qattiq jism sirti izini olish usuli. Bunday jismning sirtidan uglerod, kolloddiy, formvarning yupqa plyonkasi ko‘rinishida, yorituvchi elektron mikroskopiyada ko‘riladigan va sirt relуefini takrorlaydigan iz olinadi. Odatda, oldin replikaga vakuumda sirtga nisbatan kichik burchak ostida geometrik relуefning chiqiqlari va botiqlarini aniq ko‘rsatib turadigan og‘ir metallning kuchli tarqatadigan elektronlar qatlami purkaladi.

Ёритувчи электрон микроскопия методи билан тасвирлаш учун қаттиқ жисм сирти изини олиш усули. Бундай жисмнинг сиртидан углерод, коллодий, формварнинг юпқа плёнкаси кўринишида, ёритувчи электрон микроскопияда кўриладиган ва сирт рельефини такрорлайдиган из олинади. Одатда, олдин репликага вакуумда сиртга нисбатан кичик бурчак остида геометрик рельефнинг чиқиқлари ва ботиқларини аниқ кўрсатиб турадиган оғир металлнинг кучли тарқатадиган электронлар қатлами пуркалади.

replica

Наноробот, способный к созданию своей копии, то есть самовоспроизводству. Наиболее очевидные примеры репликаторов − ДНК-последовательности.  Может быть пассивным или активным, конечным или бесконечным.

replicator

Наноробот, способный к созданию своей копии, то есть самовоспроизводству. Наиболее очевидные примеры репликаторов − ДНК-последовательности.  Может быть пассивным или активным, конечным или бесконечным.

O‘zining nusxasini yaratishga, ya’ni o‘z-o‘zini ishlab chiqarishga qobiliyatli nanorobot. Replikatorlarga yaqqol misol DNK - ketma ketliklar. Passiv yoki aktiv, chekli yoki cheksiz bo‘lishi mumkin.

Ўзининг нусхасини яратишга, яъни ўз-ўзини ишлаб чиқаришга қобилиятли наноробот. Репликаторларга яққол мисол ДНК - кетма кетликлар. Пассив ёки актив, чекли ёки чексиз бўлиши мумкин.

replicator

Наноробот, способный к созданию своей копии, то есть самовоспроизводству. Наиболее очевидные примеры репликаторов − ДНК-последовательности.  Может быть пассивным или активным, конечным или бесконечным.

O‘zining nusxasini yaratishga, ya’ni o‘z-o‘zini ishlab chiqarishga qobiliyatli nanorobot. Replikatorlarga yaqqol misol DNK - ketma ketliklar. Passiv yoki aktiv, chekli yoki cheksiz bo‘lishi mumkin.

Ўзининг нусхасини яратишга, яъни ўз-ўзини ишлаб чиқаришга қобилиятли наноробот. Репликаторларга яққол мисол ДНК - кетма кетликлар. Пассив ёки актив, чекли ёки чексиз бўлиши мумкин.

replicator

Рост или воспроизводство с удвоением количества в течение заданного периода времени.

exponential growth

Рост или воспроизводство с удвоением количества в течение заданного периода времени.

Berilgan vaqt davri mobaynida o‘sish yoki son oshib borgan holda takror ishlab chiqarish.

Берилган вақт даври мобайнида ўсиш ёки сон ошиб борган ҳолда такрор ишлаб чиқариш.

exponential growth

Рост или воспроизводство с удвоением количества в течение заданного периода времени.

Berilgan vaqt davri mobaynida o‘sish yoki son oshib borgan holda takror ishlab chiqarish.

Берилган вақт даври мобайнида ўсиш ёки сон ошиб борган ҳолда такрор ишлаб чиқариш.

exponential growth

Молекулярные структуры, состоящие из замкнутой циклической молекулы, нанизанной на линейную молекулу, у которой на концах имеются объёмные группы, препятствующие отделению кольцевой молекулы от цепи. В последнее время эти структуры стали пользоваться большой популярностью в различных нанотехнологических (молекулярных) устройствах.

rotaxane