Фотолитография

Словарь по нанотехнологии Словарь по нанотехнологии

Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, ди-электрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.

Фотонные нанокристаллы

Словарь по нанотехнологии Словарь по нанотехнологии

Кристаллы, образованные из нанокластеров, размер которых сопоставим с длиной волны фотонов.

Фотонный кристалл

Словарь по нанотехнологии Словарь по нанотехнологии

Полупрозрачный диэлектрик с определенной периодической структурой и уникальными оптическими свойствами.

Фотоэлектрическая ячейка (фотовольтаическая ячейка)

Словарь по нанотехнологии Словарь по нанотехнологии

Фотоприемник на основе фотогальванического эффекта, обусловленного возникновением электродвижущей силы в результате облучения светом. Принцип работы такого устройства основан на взаимодействии фотона с полупроводником: если энергия такого фотона больше, чем разность энергии между валентной зоной и зоной проводимости, то он создает электрон и дырку. Из-за наличия электрического поля эти носители заряда движутся в направлении друг от друга, вызывая появление дополнительного потенциала. Ячейки широко используются в солнечных батареях. Солнечные модули на основе кристаллов кремния превращают от 13 до 18 % солнечной энергии в электричество. В среднем же КПД солнечного модуля находится в пределах от 5 % до 8 %.

Фронт (импульса)

Толковый словарь по радиочастотному спектру Русско-узбекский толковый словарь терминов по радиочастотному спектру, радиоэлектронным средствам и электромагнитной совместимости

Участки нарастания и спадания импульсного сигнала, которые по их расположению во времени называют передним и задним фронтом импульса.

Показаны 16581-16600 из 34437